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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹:
這種雙軸數(shù)字水平儀(有線)是一種高精度且輕量級(jí)的水平儀。與普通水平儀相比,這種數(shù)字水平儀可以通過數(shù)字方式顯示,現(xiàn)場(chǎng)調(diào)節(jié)非常方便。此外,顯示屏和水平儀通過線連接,因此可以遠(yuǎn)程測(cè)量。由于重量輕便,可以在晶圓處理部件等敏感區(qū)域進(jìn)行測(cè)量。氣泡會(huì)顯示在顯示器屏幕上,你可以像看氣泡水平儀一樣進(jìn)行調(diào)節(jié)。由于它是數(shù)字化顯示的,操作員的讀取方式?jīng)]有變化。
詳情介紹:
一、數(shù)字水平儀核心特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)
超高精度雙軸測(cè)量:X/Y 軸角度精度達(dá) ±0.001°(17.5μm/m),零點(diǎn)重復(fù)精度≤±0.001°,分辨率 0.0002°,能精準(zhǔn)捕捉微小傾斜,避免單軸測(cè)量的反復(fù)調(diào)整誤差。
雙軸同步高效調(diào)平:支持 X/Y 軸同時(shí)檢測(cè)與調(diào)整,相比傳統(tǒng)單軸水平儀大幅縮短作業(yè)工時(shí),減少調(diào)整步驟,統(tǒng)一作業(yè)者操作標(biāo)準(zhǔn),降低人為誤差。
狹窄空間適配性強(qiáng):傳感器尺寸小(Φ50×19mm,含 SVS 底座重 70g),可輕松對(duì)垂直間距狹窄的零件進(jìn)行水平觀測(cè),適配各類精密設(shè)備的復(fù)雜安裝環(huán)境。
操作友好易上手:配備 4.3 英寸彩色 LCD 觸摸屏,可像看氣泡水平儀般直觀調(diào)整;能設(shè)置合格角度范圍,初學(xué)者也可快速完成水平調(diào)整,還支持多種單位切換,適配不同作業(yè)需求。
穩(wěn)定耐用適配廣:具備防塵與抗電磁干擾設(shè)計(jì),工作溫度范圍 - 10℃至 + 50℃,機(jī)身輕便(約 96×35×145mm,重 280g),電源可選 DC6V 專用 AC 適配器或 4 節(jié) AA 電池,使用靈活。
二、數(shù)字水平儀主要技術(shù)參數(shù)
測(cè)量核心:X/Y 軸線性角度測(cè)量范圍均為 ±0.3°,測(cè)量分辨率 0.0002°,零點(diǎn)重復(fù)精度≤±0.001°,響應(yīng)速度≤50ms。
顯示與處理:搭載 32 位微處理器、14 位 A/D 轉(zhuǎn)換器,A/D 分辨率 0.000025°,顯示單位可切換 μm/m、角度(°、°′″),量程切換有 0.01/0.001/0.0001 三檔,超量程(0.3° 及以上)會(huì)觸發(fā) OVER 顯示。
尺寸與重量:傳感器尺寸 Φ50×19mm,含 SVS 底座重 70g;主機(jī)尺寸約 96×35×145mm,重量 280g。
供電與環(huán)境:電源為 DC6V 專用 AC 適配器或 4 節(jié) AA 電池,工作溫度 - 10℃至 + 50℃,適配工業(yè)常見工作環(huán)境。
三、數(shù)字水平儀典型應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體制造領(lǐng)域:用于光刻機(jī)、晶圓鍵合機(jī)、CMP 化學(xué)機(jī)械拋光平臺(tái)等設(shè)備的水平校準(zhǔn),保證晶圓刻蝕、光刻等工序的芯片良率,適配無(wú)塵車間與振動(dòng)環(huán)境。
精密加工設(shè)備:適配五軸加工中心、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、光學(xué)平臺(tái)等,校準(zhǔn)基準(zhǔn)面水平度,保障加工精度,其數(shù)據(jù)可輔助設(shè)備維護(hù)與歷史數(shù)據(jù)追溯。
工業(yè)機(jī)器人與自動(dòng)化產(chǎn)線:用于機(jī)器人關(guān)節(jié)、機(jī)械臂安裝基座的水平校準(zhǔn),適配狹小安裝空間,配合快速響應(yīng)特性滿足在線檢測(cè)需求,保障自動(dòng)化作業(yè)精度。
特種設(shè)備安裝:如風(fēng)力發(fā)電機(jī)組、衛(wèi)星接收天線、大型精密儀器的安裝調(diào)試,可通過外接顯示器實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離測(cè)量,精準(zhǔn)把控安裝水平度。
精密儀器維護(hù):適用于各類精密檢測(cè)儀器的定期水平校準(zhǔn),統(tǒng)一維護(hù)標(biāo)準(zhǔn),降低儀器因水平偏差導(dǎo)致的測(cè)量誤差。
四、數(shù)字水平儀操作流程簡(jiǎn)述
準(zhǔn)備工作:根據(jù)使用場(chǎng)景選擇電源(AC 適配器或 AA 電池),將傳感器通過有線連接主機(jī),安裝 SVS 底座并將傳感器平穩(wěn)放置在待測(cè)量基準(zhǔn)面,確保接觸面清潔無(wú)異物,避免影響測(cè)量精度。
設(shè)備初始化:開機(jī)后進(jìn)入主界面,完成零點(diǎn)校準(zhǔn)(將傳感器置于標(biāo)準(zhǔn)水平臺(tái),長(zhǎng)按零點(diǎn)校準(zhǔn)鍵,待數(shù)值穩(wěn)定后確認(rèn)),根據(jù)需求切換顯示單位(如 μm/m、° 等)與量程檔位,設(shè)置合格角度范圍參數(shù)。
水平測(cè)量與調(diào)整:觀察觸摸屏上 X/Y 軸的實(shí)時(shí)傾斜數(shù)據(jù),同步調(diào)節(jié)待校準(zhǔn)設(shè)備的支撐結(jié)構(gòu),直至數(shù)值處于合格范圍內(nèi),期間可實(shí)時(shí)查看數(shù)據(jù)變化,避免過度調(diào)整。
超高精度雙軸測(cè)量:X/Y 軸角度精度達(dá) ±0.001°(17.5μm/m),零點(diǎn)重復(fù)精度≤±0.001°,分辨率 0.0002°,能精準(zhǔn)捕捉微小傾斜,避免單軸測(cè)量的反復(fù)調(diào)整誤差。
雙軸同步高效調(diào)平:支持 X/Y 軸同時(shí)檢測(cè)與調(diào)整,相比傳統(tǒng)單軸水平儀大幅縮短作業(yè)工時(shí),減少調(diào)整步驟,統(tǒng)一作業(yè)者操作標(biāo)準(zhǔn),降低人為誤差。
狹窄空間適配性強(qiáng):傳感器尺寸小(Φ50×19mm,含 SVS 底座重 70g),可輕松對(duì)垂直間距狹窄的零件進(jìn)行水平觀測(cè),適配各類精密設(shè)備的復(fù)雜安裝環(huán)境。
操作友好易上手:配備 4.3 英寸彩色 LCD 觸摸屏,可像看氣泡水平儀般直觀調(diào)整;能設(shè)置合格角度范圍,初學(xué)者也可快速完成水平調(diào)整,還支持多種單位切換,適配不同作業(yè)需求。
穩(wěn)定耐用適配廣:具備防塵與抗電磁干擾設(shè)計(jì),工作溫度范圍 - 10℃至 + 50℃,機(jī)身輕便(約 96×35×145mm,重 280g),電源可選 DC6V 專用 AC 適配器或 4 節(jié) AA 電池,使用靈活。
二、數(shù)字水平儀主要技術(shù)參數(shù)
測(cè)量核心:X/Y 軸線性角度測(cè)量范圍均為 ±0.3°,測(cè)量分辨率 0.0002°,零點(diǎn)重復(fù)精度≤±0.001°,響應(yīng)速度≤50ms。
顯示與處理:搭載 32 位微處理器、14 位 A/D 轉(zhuǎn)換器,A/D 分辨率 0.000025°,顯示單位可切換 μm/m、角度(°、°′″),量程切換有 0.01/0.001/0.0001 三檔,超量程(0.3° 及以上)會(huì)觸發(fā) OVER 顯示。
尺寸與重量:傳感器尺寸 Φ50×19mm,含 SVS 底座重 70g;主機(jī)尺寸約 96×35×145mm,重量 280g。
供電與環(huán)境:電源為 DC6V 專用 AC 適配器或 4 節(jié) AA 電池,工作溫度 - 10℃至 + 50℃,適配工業(yè)常見工作環(huán)境。
三、數(shù)字水平儀典型應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體制造領(lǐng)域:用于光刻機(jī)、晶圓鍵合機(jī)、CMP 化學(xué)機(jī)械拋光平臺(tái)等設(shè)備的水平校準(zhǔn),保證晶圓刻蝕、光刻等工序的芯片良率,適配無(wú)塵車間與振動(dòng)環(huán)境。
精密加工設(shè)備:適配五軸加工中心、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、光學(xué)平臺(tái)等,校準(zhǔn)基準(zhǔn)面水平度,保障加工精度,其數(shù)據(jù)可輔助設(shè)備維護(hù)與歷史數(shù)據(jù)追溯。
工業(yè)機(jī)器人與自動(dòng)化產(chǎn)線:用于機(jī)器人關(guān)節(jié)、機(jī)械臂安裝基座的水平校準(zhǔn),適配狹小安裝空間,配合快速響應(yīng)特性滿足在線檢測(cè)需求,保障自動(dòng)化作業(yè)精度。
特種設(shè)備安裝:如風(fēng)力發(fā)電機(jī)組、衛(wèi)星接收天線、大型精密儀器的安裝調(diào)試,可通過外接顯示器實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離測(cè)量,精準(zhǔn)把控安裝水平度。
精密儀器維護(hù):適用于各類精密檢測(cè)儀器的定期水平校準(zhǔn),統(tǒng)一維護(hù)標(biāo)準(zhǔn),降低儀器因水平偏差導(dǎo)致的測(cè)量誤差。
四、數(shù)字水平儀操作流程簡(jiǎn)述
準(zhǔn)備工作:根據(jù)使用場(chǎng)景選擇電源(AC 適配器或 AA 電池),將傳感器通過有線連接主機(jī),安裝 SVS 底座并將傳感器平穩(wěn)放置在待測(cè)量基準(zhǔn)面,確保接觸面清潔無(wú)異物,避免影響測(cè)量精度。
設(shè)備初始化:開機(jī)后進(jìn)入主界面,完成零點(diǎn)校準(zhǔn)(將傳感器置于標(biāo)準(zhǔn)水平臺(tái),長(zhǎng)按零點(diǎn)校準(zhǔn)鍵,待數(shù)值穩(wěn)定后確認(rèn)),根據(jù)需求切換顯示單位(如 μm/m、° 等)與量程檔位,設(shè)置合格角度范圍參數(shù)。
水平測(cè)量與調(diào)整:觀察觸摸屏上 X/Y 軸的實(shí)時(shí)傾斜數(shù)據(jù),同步調(diào)節(jié)待校準(zhǔn)設(shè)備的支撐結(jié)構(gòu),直至數(shù)值處于合格范圍內(nèi),期間可實(shí)時(shí)查看數(shù)據(jù)變化,避免過度調(diào)整。
數(shù)據(jù)記錄與收尾:測(cè)量達(dá)標(biāo)后,可通過外接設(shè)備記錄當(dāng)前數(shù)據(jù)用于后續(xù)追溯;測(cè)量結(jié)束后關(guān)機(jī),取下傳感器與主機(jī),做好清潔收納,長(zhǎng)期不用時(shí)取出電池,避免設(shè)備損壞。
數(shù)字水平儀監(jiān)控詳情
數(shù)字水平儀規(guī)格
| 物品 | 目錄 | |
|---|---|---|
| 傳感器部門 | 線性 - 角度 | X方向±0.3度Y,±0.3度 |
| 測(cè)量分辨率 | 0.0002度 | |
| 零點(diǎn)重復(fù)性 | ±小于0.001度 | |
| 響應(yīng)速度 | 不到50毫秒 | |
| 服務(wù)溫度 | -10°C~+50°C | |
| 身體部位 | 微控制器 | 32位 |
| A/D部門 | 14位 | |
| 測(cè)量范圍 | ±0.3度 | |
| A/D 分辨率 | 0.000025 deg | |
| 展示單元 | 0.0001 度 | |
| 傳球范圍設(shè)定范圍 | 0.0001 度 | |
| 范圍切換 | 0.01/ 0.001/ 0.0001 | |
| OVER 表示 | 0.3度或更高 | |
| 特色 | 傳感器連接數(shù)量 | 1 ch |
| 展示部門 | 4.3英寸彩色LCD觸摸面板 | |
| 480×272個(gè)點(diǎn) | ||
| 電源 | 專用交流適配器 DC6V/2A | |
| 4節(jié)AA電池(1.5伏) | ||
| 尺寸 | 監(jiān)視器 | W96×D35×H145毫米 |
| 傳感器(基于 SUS) | φ50×H19 mm | |
| 電纜 | 2米 | |
| 重量 | 監(jiān)視器 | 392克 |
| 傳感器 | 70克 | |
| 配件 | 4節(jié)AA電池(1.5伏) | |
| 專用交流適配器 DC6V/2A | ||
| 說明書 | ||
| 保修卡 |